機器センターMachine center

高度な実験・研究を支える
高性能機器が充実

機器センターでは、大型先端機器の管理・運営にあたります。教員、学生の研究活動で利用するほか、民間企業や公的研究機関の技術者・研究者も利用可能ですので地域社会の研究・技術開発の振興にも貢献しています。 機器センターの詳細はこちら

高性能光電子分光分析装置 金属、半導体、高分子等の表面にX線を照射し、組成元素の分析、電子状態の解析を行う。半導体デバイスの微細な構造部分の評価にも活用されている。

高分解能質量分析計 高分解能測定、高速掃引など、さまざまな要求に対応できる最新鋭質量分析計。

多機能粉末X線回折装置 Ｘ線を物質に照射し、ナノオーダーで物質の結晶構造を解析。合成した物質が目的の物質になっているか確認できる。半導体、磁性体、誘電体などの研究に活用されている。	電界放出型走査電子顕微鏡 固体表面のナノスケールの超微細な形態や組織構造を最大80万倍で観察できる高性能な電子顕微鏡。半導体、太陽電池、セラミックスなどの材料の形態評価に活用されている。	熱分析装置 有機化合物、高分子化合物、無機化合物などさまざまな物質の熱的性質を測定。試料の物理的性質、重量、温度、熱量、変形量から測定。
電子スピン共鳴装置 磁場中で物質がマイクロ波を共鳴吸収する現象を測定し、その物質の性質や、結晶欠陥などについて分析。生化学分野、半導体分野など幅広い分野で活用されている。	超伝導核磁気共鳴装置 超伝導マグネットによる磁場での水素、炭素?13などの原子核の状態から物質の構造を調べられる。X線構造解析装置と並び、有機化学の研究に必要不可欠な装置。	多元同時蒸着装置 原子サイズからミクロンのオーダーまでの薄膜物質を成長する装置。電子材料の開発や薄膜成長技術の研究開発に用いる。集積回路（IC）、半導体メモリ、磁気記録媒体などの基盤技術の研究に用いる。